溅射靶材检测机构

溅射靶材的要求较传统材料行业高，一般要求如，尺寸、平整度、纯度、各项杂质含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸与缺陷控制。

溅射靶材检测范围

铬钽钛合金溅射靶材、磁性溅射靶材、高纯金属溅射靶材、高纯合金溅射靶材、氧化物陶瓷溅射靶材、氮化物溅射靶材、碳化物溅射靶材、氟化物陶瓷溅射靶材等。

溅射靶材检测项目

外观质量、材质鉴定、REACH检测、化学纯度检测、无损检测、表面粗糙度检测、杂质国标检测、表面缺陷检测、平整度检测、XRD检测、X射线检测、ICP检测、金相检测、杂质含量检测、靶材检测、常规检测、第三方检测、现场检测等。（具体以客户实际情况为准）

溅射靶材检测标准（部分）

1、 T/ZZB 0639-2018 氧化锌铝磁控溅射靶材

2、 YS/T 893-2013 电子薄膜用高纯钛溅射靶材

3、 YS/T 819-2012 电子薄膜用高纯铜溅射靶材

4、 YS/T 1555-2022 铂钴铬硼合金溅射靶材

5、 T/ZZB 0093-2016 集成电路用高纯钛溅射靶材

6、 YS/T 1124-2016 磁性溅射靶材透磁率测试方法

7、 YS/T 1358-2020 磁记录用铁钴钽合金溅射靶材

8、 YS/T 1357-2020 磁记录用铬钽钛合金溅射靶材

9、 GB/T 29658-2013 电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材

溅射靶材检测流程

1、联系客服、沟通检测需求；

2、根据实际情况确定样品递送流程、上门取样、送样、邮寄样品；

3、对样品进行初步、获取样品的特性以及相关指标；

4、根据客户的需求、根据检测经验及标准方法、定制试验方案；

5、进行试验、得到试验数据、出具测试报告；

6、完善的售后服务、可随时咨询；

上海复达检测是法定第三方检测机构，具有CMA、CNAS等资质，溅射靶材检测服务面向全国，包含上海、北京、天津、沈阳、济南、南京、苏州、杭州、宁波、合肥、郑州、武汉、长沙、广州、深圳、成都、西安等地区。