硅抛光片是一种半导体材料加工工具、广泛应用于半导体制造等领域。它主要由石英基板、粘结剂和磨粒组成。

硅抛光片检测项目

外观质量、规格尺寸、表面平整度、厚度、密度、硬度、拉伸强度、延展、撕裂强度、磨粒含有量、切口尺寸、参考面位置和切口位置、导电类型、电阻率、弯曲度、翘曲度、总平整度、局部平整度、氧化诱生缺陷、表面金属含量、体金属(铁)含量、边缘轮廓、表面质量、局部光散射体、指标检测、颗粒度检测、表面缺陷、常规检测、第三方检测、现场检测等。（具体以客户实际情况为准）

硅抛光片检测范围

硅单晶抛光片、光学玻璃用抛光片、眼镜镜片用抛光片、外延片、液晶用玻璃用抛光片、不锈钢用抛光片、塑料用抛光片、宝石用抛光片、石英用抛光片等。

硅抛光片检测标准（部分）

1、 YS/T 25-1992 硅抛光片表面清洗方法

2、 GB/T 19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法

3、 GB/T 6621-1995 硅抛光片表面平整度测试方法

4、 GB/T 6624-2009 硅抛光片表面质量目测检验方法

5、 GB/T 6624-1995 硅抛光片表面质量目测检验方法

6、 GB/T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法

7、 GB/T 4058-2009 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法

8、 GB/T 17169-1997 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法

9、 GB/T 12964-2003 硅单晶抛光片

硅抛光片检测流程

1、联系客服、沟通检测需求；

2、根据实际情况确定样品递送流程、上门取样、送样、邮寄样品；

3、对样品进行初步、获取样品的特性以及相关指标；

4、根据客户的需求、根据检测经验及标准方法、定制试验方案；

5、进行试验、得到试验数据、出具测试报告；

6、完善的售后服务、可随时咨询；

上海复达检测是法定第三方检测机构，具有CMA、CNAS等资质，硅抛光片检测服务面向全国，包含上海、北京、天津、沈阳、济南、南京、苏州、杭州、宁波、合肥、郑州、武汉、长沙、广州、深圳、成都、西安等地区。