镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。

靶材检测项目

外观质量、成分分析、未知物分析、材质鉴定、工业问题诊断分析、对比分析、材料热分析、定性定量分析、防锈性、抗老化性、耐腐蚀性、断面形貌、物相及晶型结构、相对密度和抗弯强度、密实率、形貌、晶体结构和烧结缺陷、常规检测、第三方检测等。（具体以客户实际情况为准）

靶材检测范围

金属靶材、半导体靶材、电子靶材、合金靶材、高纯靶材、钼镍系合金靶材、银基合金靶材坯料、高纯Al-Cu合金靶材、Mo-Na合金靶材、磁控溅射金基合金靶材、B2结构镍钛形状记忆合金、Co-Cr-Ta合金薄膜、钨钛合金靶材、高铬铝合金靶材、氧化锌铝合金靶材、Al?Sc?X多元合金靶材、氧化铟锡合金靶材、磁控溅射晶界扩散的稀土合金靶材、铝铬合金靶材、镁锌铝镍钒合金靶材、晶粒均衡铝合金靶材等等。

靶材检测标准（部分）

1、 GB/T 23611-2009 金靶材

2、 YS/T 1220-2018 铬靶材

3、 T/CAS 304-2018 磁控溅射硅靶材及绑定靶材

4、 YS/T 937-2013 镍铂靶材

5、 YS/T 1063-2015 钼靶材

6、 GB/T 20510-2006 氧化铟锡靶材

7、 T/CSRE 19001-2020 金属镱靶材

8、 JC/T 2201-2013 镀膜玻璃用靶材

9、 YS/T 1234-2018 铬钼合金（CrMo）靶材

靶材检测流程

1、联系客服、沟通检测需求；

2、根据实际情况确定样品递送流程、上门取样、送样、邮寄样品；

3、对样品进行初步、获取样品的特性以及相关指标；

4、根据客户的需求、根据检测经验及标准方法、定制试验方案；

5、进行试验、得到试验数据、出具测试报告；

6、完善的售后服务、可随时咨询；

上海复达检测是法定第三方检测机构，具有CMA、CNAS等资质，靶材检测服务面向全国，包含上海、北京、天津、沈阳、济南、南京、苏州、杭州、宁波、合肥、郑州、武汉、长沙、广州、深圳、成都、西安等地区。